高纯氟化铵溶液为无色叶状或针状结晶，升华后得六角形柱状结晶。易潮解。 易溶于水，水溶液呈酸性。可溶于醇，不溶于丙酮和液氨；主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。
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外观、 氟化铵（NH4F）、 氟硅酸铵[(NH4)2SiF6]、 色度、 pH（10g/L溶液,25℃）、 氯化物（以Cl计）、 硝酸盐（以NO3计）、 磷酸盐（以PO4计）、 硫酸盐（以SO4计）、 铝（Al）、 砷（As）、 硼（B）、 钡（Ba）、 钙（Ca）、 镉（Cd）、 铬（Cr）、 铜（Cu）、 铁（Fe）、 钾（K）、 锂（Li）、 镁（Mg）、 锰（Mn）、 钠（Na）、 镍（Ni）、 铅（Pb）、 锑（Sb）、 锡（Sn）、 钛（Ti）、 钒（V）、 锌（Zn）、 颗粒；

GB/T 30901-2014 高纯氟化铵溶液
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HG/T3696.1 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第1部分:标准滴定溶液的制备
HG/T3696.2 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第2部分:杂质标准溶液的制备
HG/T3696.3 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第3部分:制剂及制品的制备