冲击有可能造成MEMS器件发生结构断裂、碎屑或粘附等失效。MEMS器件机械冲击试验可在器件不带电工作的情况下确定器件在较高冲击和高冲击下的可靠性。
中科检测可靠性实验中心具备各种MEMS器件的可靠性综合环境试验能力，为MEMS器件提供专业的机械冲击试验等服务。

1、MEMS传感器：加速度传感器、陀螺仪传感器、压力传感器、惯性组合传感器、声学传感器、气体传感器、温度传感器、温度传感器、光学传感器、MEMS射频器件、微型热辐射传感器、磁传感器。
2、MEMS执行器：DMD数字微镜器件、喷墨打印头、生物芯片、射频MEMS、微结构、微型扬声器、超声波指纹识别等。

1、将冲击台安装在牢固的固定台面上，并应将设备调至水平。所有冲击台均应配有可在X、Y、Z和一X、一Y、一Z六个方向调整的夹具。通常夹具应为金属制作，如钢、铜、铝等，并用螺栓固定在冲击台上。冲击试验前应使用冲击台装载夹具后进行预冲击，并应调整设备参数使测量得到的参数满足规定值后再加载器件进行冲击。
2、器件在X、Y、Z和一X、一Y、一Z共六个方向上依次承受规定的冲击次数、冲击加速度和脉冲宽度

GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
GB/T 26111 微机电系统（MEMS）技术 术语
GB 2423.1电工电子产品基本环境试验规程 试验A：低温试验方法
GB 2423.2电工电子产品基本环境试验规程 试验B：高温试验方法
GB 2423.3电工电子产品基本环境试验规程 试验Ca：恒定湿热试验方法
GB 2423.5电工电子产品基本环境规程 试验Ea：冲击试验方法
GB 2423.6电工电子产品基本环境试验规程 试验Eb：碰撞试验方法
GB 2423.10电工电子产品基本环境试验规程 试验Fc：振动（正弦）试验方法