粒子束聚焦分析检测

粒子束聚焦分析检测

聚焦离子束是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。中科检测可以提供粒子束聚焦分析检测服务，报告具有CMA和CNAS资质。
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粒子束聚焦分析检测介绍

聚焦离子束是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。聚焦离子束是将离子源（大多数FIB都用Ga，也有设备具有He和Ne离子源）产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后作用于样品表面。
中科检测可以提供粒子束聚焦分析检测服务，报告具有CMA和CNAS资质。

检测范围粒子束聚焦分析

微电子材料、亚微米级器件等

检测标准粒子束聚焦分析

GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法
ISO 16531-2013 表面化学分析.深度剖析.原子发射光谱(AES)和光电子能谱(XPS)中深度剖析用电流或电流密度的离子束校正和相关测量方法
ASTM E1577-2011 用于表面分析的离子束参数报告的标准指南
ASTM E684-2004 固体表面溅射深度仿形加工用大直径离子束的电流密度近似测定的标准规程
ASTM E1577-2004 用于表面分析的离子束参数报告的标准指南


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