纳米压痕测试是一种测量硬度的方法，是材料测试的重要组成部分，它用于确定材料的塑性和弹性性能，如压痕弹性模量 EIT、压痕硬度 HIT 及压痕蠕变 CIT。纳米压痕法可以非常精确地测量与压痕深度相关的多个材料特征参数。

纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。划痕法通过使用不同的传感器（声发射、划痕位移、摩擦力）和视频显微镜观察获得临界载荷数据来量化不同的膜-基材组合的结合性能。

在纳米压痕测试过程中，压头按预定的加载曲线压入被测物，当达到设定的最大力值时，压头再次以可控的方式进行卸载。在加载和卸载过程中记录压入深度，通过施加的载荷、压头的形状和压痕深度就可以计算出各种性能参数。测量的材料力学性能包括:弹性模量、压痕硬度、马氏硬度、压痕模量、压痕蠕变、储能模量、损耗模量、屈服强度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性等。